芯測科技設置隸屬於董事會之內部稽核單位,配置專任稽核人員共計1名;其負責評估公司內部控制制度及各項管理制度之健全性、合理性及有效性。
內部稽核依據董事會通過的年度稽核計劃,查核公司內部作業及子公司監督與管理;除在董事會例行會議報告外,並每季向審計委員會報告。
內部稽核之目的在協助董事會及經理人檢查及覆核內部控制制度之缺失及衡量營運之效果與效率,並適時提供改善建議,以確保內部控制制度得以持續有效實施及作為檢討修正內部控制制度之依據。
內部稽核之實行包含對內部控制制度進行調查、評估,以衡量現行政策、程序之遵行程度,及其對各項營運活動之影響。稽核範疇包含釐定的稽核項目、時間、程序(方法)、依據之法令規章及使用之表單。